因?yàn)榈蜏劐兡すに噾?yīng)用于面板Backside ITO可提高顯示面板價(jià)值，近來成為觸控及顯示同業(yè)間常被提及的課題。

隨著面板技術(shù)快速發(fā)展及趨于成熟，顯示產(chǎn)品必須不斷提升顯示效果及整合其他功能。業(yè)者近期比較矚目的發(fā)展包含改善廣視角色差的IPS工藝、集成觸控功能的In-Cell/On-Cell面板顯示模塊等。

IPS LCD強(qiáng)調(diào)廣視角，電極采取并排陳列所以容易受到外界噪聲干擾，因此需要在濾光片背后再上一層ITO鍍膜作為噪聲屏障(ShieldingITO)；而On Cell LCD需要在濾光片背面制作ITO線路作為觸控感應(yīng)線路。因?yàn)樵跒V光片背面，一般稱作Back SideITO。

Back Side ITO鍍膜，工藝程序是先完成Cell、化學(xué)薄化制程后，才進(jìn)行ITO鍍膜，得以滿足輕薄化的產(chǎn)品要求，并顧及Cell制程中移載的便利性。但是ITO鍍膜制程必須在低溫(80°C)下進(jìn)行，否則封裝好的液晶受到壓力、高溫影響可能膨脹、溢出造成模塊損壞。

一、高溫與低溫ITO成膜特性差異

一般ITO在200°C以上成膜排列整齊，屬于多晶質(zhì)，具有較好的導(dǎo)電性；而在100°C以下成膜排列成不規(guī)則狀，屬于非晶質(zhì)，導(dǎo)電效果較差；100至200°C則介于前述兩者之間，是非晶質(zhì)與多晶質(zhì)的混合體。

因?yàn)楣に嚦绦虻囊?，BackSide ITO必須使用低溫工藝，但又希望達(dá)到良好的導(dǎo)電性，這就是低溫ITO鍍膜工藝的困難點(diǎn)。另外，低溫ITO還有顏色偏黃且透明度較低的問題。

不同Back SideITO鍍膜位置相同，但電性與光學(xué)特性要求不同，鍍膜厚度相異。IPS LCD的Shielding ITO追求透光度，厚度約16~18奈米；On-Cell ITO追求導(dǎo)電性，厚度約在70~150奈米，實(shí)際厚度視規(guī)格與制程能力而定。

二、電阻率的突破

低溫ITO因結(jié)晶性質(zhì)電阻率高約為10-3Ω-cm左右。勤友光電提出的解決方向是改變制程氣體配方以及調(diào)整磁場，增加濺射能量，使非晶質(zhì)ITO結(jié)晶狀態(tài)更為致密、整齊，提升導(dǎo)電性。

一般業(yè)界較高水平的低溫ITO鍍膜性能為電阻率6*10-4Ω-cm均勻性±7%，而勤友光電低溫ITO鍍膜工藝經(jīng)多年應(yīng)用在國際領(lǐng)先面板廠，電阻率可達(dá)到5*10-4Ω-cm且電阻均勻性為±2.19%的水平。

三、光學(xué)性能的提升

低溫成膜ITO結(jié)晶的穿透率較低且顏色偏黃，加上ITO(1.7~2.2)與玻璃(1.5~1.9)的折射率差異大，蝕刻痕常常顯而易見。

為了彌補(bǔ)低溫ITO光學(xué)特性上的缺陷，對應(yīng)作法是采取IM層的光學(xué)補(bǔ)償。搭配不同折射率的涂層(Index Matching,IM)，可提升穿透率并校正ITO顏色，同時縮小ITO與IM的折射率差異，降低蝕刻痕可視程度。

勤友光電完整的IM ITO能力，可依照客戶對ITO厚度、透光率等規(guī)格要求，并簡化工序的IM組合，解決蝕刻痕問題。

四、膜厚均勻性

同一片基板的膜厚均勻性影響LCD色彩的顯示效果；不同基板間的膜厚均勻度影響產(chǎn)出良率。因此鍍膜厚度均勻性越高，表示生產(chǎn)效益越好。

制程氣體、磁場、溫度都會影響鍍膜均勻度。勤友的膜厚均勻度可達(dá)±3.09%，遠(yuǎn)優(yōu)于市場±5%的水平。

(一)制程氣體均勻性

設(shè)計(jì)氣體配方以及管線分布，調(diào)配出最適制程氣體組合，并使用實(shí)時監(jiān)控系統(tǒng)調(diào)節(jié)氣體濃度，以及追速系統(tǒng)避免載板間的空間不一致影響氣體分布。

(二)磁力均勻性

調(diào)整各磁鐵與靶材之間的距離，使得靶材與玻璃基板之間的磁力場接近。

(三)基板溫度均勻性

使用多組加熱器監(jiān)測整體玻璃基板溫度，避免使用單一加熱器無法掌控基板角落的溫度。

(四)屏蔽

根據(jù)磁力場分布設(shè)計(jì)對應(yīng)造型屏蔽，遮蔽電子濃度較高的區(qū)域，避免局部濺鍍厚度過厚。

五、傳輸穩(wěn)定性減少破片

LCD模塊屬于高單價(jià)(30~50 USD/片)組件，加上產(chǎn)品越趨輕薄(0.2mm)更顯得脆弱，因此確保傳輸過程穩(wěn)定性，避免造成模塊破損是重要課題。增加傳輸穩(wěn)定性從傳輸機(jī)構(gòu)與氣流控制系統(tǒng)著手。

(一) 傾斜式載板(Carrier)設(shè)計(jì)

水平式載板全面性支撐玻璃基板，提高運(yùn)送的穩(wěn)定度，惟此法基板容易沾染落塵；垂直式載板可以減少落塵沾附機(jī)會，但玻璃基板無法穩(wěn)固的平躺在載板上方，僅依靠夾持方式固定基板；傾斜式的載板綜合前述兩種載板優(yōu)點(diǎn)，能支持基板也減少落塵機(jī)會。

(二)軌道設(shè)計(jì)

除了固定載板與基板，傳輸過程的穩(wěn)定性還得依賴軌道設(shè)計(jì)。例如：磁浮上軌道(勤友專利)運(yùn)用同極相斥的特性平衡載板，以非接觸力控制載板運(yùn)送，降低接觸力造成的變異性以及落塵堆積的機(jī)會；U型下滾輪能限制載板前進(jìn)時左右滑動，并固定靶材與玻璃基板的距離。

小結(jié)

因?yàn)榈蜏劐兡すに噾?yīng)用于面板Backside ITO可提高顯示面板價(jià)值，近來成為觸控及顯示同業(yè)間常被提及的課題。勤友光電設(shè)備及技術(shù)團(tuán)隊(duì)具備多年開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，實(shí)際應(yīng)用于國際級客戶的小尺寸智能型手機(jī)面板以及中大尺寸平板計(jì)算機(jī)/筆記本電腦面板等產(chǎn)品中。現(xiàn)有方案已解決電性、光學(xué)、大面積均勻度及破片率等量產(chǎn)瓶頸，自有制程團(tuán)隊(duì)也可協(xié)助客戶要求，提供客制化功能，共同開發(fā)高性價(jià)比工藝。